Messung

Plättchen

Um die prinzipielle Funktion der interferometrischen Dickenmessung zu zeigen, wurden planparallele Glas- und Kunststoffplättchen vermessen. Als Referenz dienten die Ergebnisse einer mechanischen Messung mittels einer Schublehre.

Die folgenden Daten entstammen 10 Meßdurchgängen mit der Interferometervariante B. Da diese bei jedem Durchlauf zwei Meßergebnisse liefert, standen 20 Werte zur Mittelung und Bestimmung der Standardabweichung zur Verfügung.
 

Tabelle 6-1: Meßergebnisse der planparallelen Plättchen   Abbildung 6-1: Meßergebnisse der planparallelen Plättchen

Wie Tabelle 6-1 und Abbildung 6-1 zeigen, beträgt die Standardabweichung in einem Meßbereich von 0,1 bis 2 mm maximal 2,6 µm.

Andere Messungen mit der Interferometervariante A und verschiedenen Auflösungen zeigten die selben Ergebnisse. Auch Versuche, während derer das Meßobjekt in einer Flüssigkeit schwimmend fixiert wurde, wichen davon nicht ab. Allerdings wurde das Meßsignal gegenüber der Messung im Trockenen – Abbildung 6-2 – schwächer und von einem stärkeren Rauschen überlagert – Abbildung 6-3.
 

Abbildung 6-2: Deckglas im Trockenen gemessen   Abbildung 6-3: Deckglas in einer Kochsalzlösung gemessen