|
|
|
|
Das Interferometer aus Abbildung 5-2 ist in Abbildung 5-3 schematisiert dargestellt. Die Messung erfolgt von unten, das Meßobjekt liegt im zweiten Arm des Michelson-Interferometers und wird nur von einem Meßstrahl getroffen.
Die Laserdiode wird in einer Kollimationsoptik montiert. Der austretende
Strahl wird durch einen Umlenkspiegel von unten in das Interferometer gelenkt
und nach Passieren eines Strahlteilerwürfels in zwei Teilstrahlen
zerlegt. Die beiden Strahlen werden anschließend vom mobilen seitlichen
Spiegel und vom Meßobjekt reflektiert und verlassen nach ihrer Vereinigung
durch den Strahlteilerwürfel phasenverschoben, abhängig von der
Spiegelposition, das Interferometer. Die Sammellinsen engen den Meßstrahl
für eine punktförmige Messung ein. Treffen die beiden Teilstrahlen
am Meßkopf ein, so können diese durch seine spiegelnde Oberfläche
mit Hilfe einer Videokamera justiert werden. Durch eine Öffnung wird
der Laserstrahl in einen Lichtleiter eingekoppelt, der in einem Photomultiplier
mündet. Das in ein elektrisches Signal umgewandelte Meßsignal
wird verstärkt, demoduliert und über einen Analog-Digital-Wandler
in einen Rechner eingelesen.
Der Teilstrahl, der vom Meßobjekt, sprich Hornhaut, reflektiert wird, wird durch ihre inhomogene Beschaffenheit verzerrt. Da der Referenzstrahl vom mobilen Spiegel jedoch nicht verzerrt wird, können Probleme beim Überlagern der beiden Strahlen auftreten. Da die Abstände Strahlteiler - Referenzspiegel und Strahlteiler - Meßobjekt gleich groß sein müssen, muß der mobile Spiegel vor Meßbeginn in die Richtige Position gebracht werden.
Ein durch diese Variante erzeugtes Interferenzsignal – Abbildung 5-4
– besteht aus den Interferenzen des Referenzstrahls mit den reflektierten
Strahlen der Oberfläche und der Unterfläche des Meßobjekts.
| Für Anmerkungen oder Änderungen senden Sie ein e-mail an martin@martin-mandl.com 980402 | |