Adaptation
Das im vorhergehenden Abschnitt beschriebene System bildet die Grundlage
des nun vorliegenden Interferometers. Einige Teile wurden zwar komplett
neu aufgebaut, andere aber teilweise bis vollständig übernommen.
Ist dies der Fall, so wird im folgenden gesondert darauf hingewiesen.
Interferometer
Um bessere Meßergebnisse zu erzielen, wurde das Interferometer immer
wieder modifiziert. Die einzelnen Aufbauten unterscheiden sich vor allem
durch verschiedenen Meßrichtungen und Strahlengänge. Das Meßobjekt
wurde in einer Version von einem von unten kommenden Laserstrahl vermessen,
in einer anderen von oben. In einer Variante befindet es sich im zweiten
Arm des Michelson-Interferometers und wird nur von einem Strahl getroffen.
Bei anderen wird es durch einen zweiten stationären Referenzspiegel
ersetzt und mit Hilfe von zwei Referenzstrahlen vermessen. Im folgenden
werden jedoch nur zwei dieser Möglichkeiten diskutiert.
Abbildung 5-1: Interferometer-Meßsystem
